半導体におけるイオン注入と格子欠陥

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タイトル別名
  • ハンドウタイ ニ オケル イオン チュウニュウ ト コウシ ケッカン

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収録刊行物

  • 日本物理学会誌

    日本物理学会誌 24 (9), 603-605, 1969

    一般社団法人 日本物理学会

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