表面トポグラフィ測定のための光学式輪郭測定技術の最近の動向

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  • 深津 拡也
    東京都立産業技術高等専門学校 生産システム工学コース
  • 中村 研人
    東京都立産業技術高等専門学校
  • 伊藤 聡史
    東京都立産業技術高等専門学校 生産システム工学コース

書誌事項

タイトル別名
  • Recent Trends in Optical Profiling Techniques for Surface Topography
  • ヒョウメン トポグラフィ ソクテイ ノ タメ ノ コウガクシキ リンカク ソクテイ ギジュツ ノ サイキン ノ ドウコウ

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収録刊行物

  • トライボロジスト

    トライボロジスト 60 (1), 31-37, 2015

    一般社団法人 日本トライボロジー学会

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