薄型WLP-IC内蔵ポリイミド多層配線板

書誌事項

タイトル別名
  • Thin WLP-IC Embedded Polyimide Multi-Layer Printed Wiring Board

説明

我々は導電ペーストで配線層間接続をするポリイミド多層配線板の技術を応用して、多層配線板内へウエハレベルで再配線層を形成した集積回路チップ(WLP-IC)を内蔵する技術を開発した。ポリイミドフィルムと薄型のWLPを用いることで250μm厚の薄型IC内蔵基板を実現しており、本稿ではその信頼性評価結果について報告を行う。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680532333056
  • NII論文ID
    130005469485
  • DOI
    10.11486/ejisso.23.0_238
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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