透明酸化物半導体デバイス: TCOからTOSへ
書誌事項
- タイトル別名
-
- Device applications fabricated using transparent oxide semiconductors: Towards TOS technology
- 公開日
- 2004
- DOI
-
- 10.14853/pcersj.2004s.0.349.0
- 公開者
- 公益社団法人 日本セラミックス協会
説明
透明導電性酸化物(TCO)は、太陽電池や平面ディスプレィの窓層電極などに使われている。我々は、p型TCOを開発することで、酸化物だけでアクティブな半導体デバイスを作製できることを報告し、それによって透明酸化物半導体(TOS)と透明酸化物エレクトロニクスという分野を開拓してきた。これまでのTOSの研究では、TCOの流れを汲み、高い透明性、高い電気伝導度を実現することが最大の目標であったが、電界効果トランジスタや太陽電池などを作製するには、異なる材料設計・特性制御指針が必要となる。本発表では、酸化物デバイスに要求される材料物性をTCOと比較し、高性能酸化物デバイスを開発する指針について検討する。
収録刊行物
-
- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
-
日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2004S (0), 349-349, 2004
公益社団法人 日本セラミックス協会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680588045824
-
- NII論文ID
- 130006967024
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
