Advanced acoustic-resonance methods for piezoelectric materials: material-constants measurement and Young's modulus microscopy

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  • 先端共振法と圧電体：材料定数測定とヤング率顕微鏡

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数ｍｍ角の１つの圧電体結晶から全ての独立な弾性定数と圧電定数を計測する技術を紹介し，水晶やランガサイトなどの圧電体に適用した例を示す．３点支持針状プローブ上に試料を設置し，真空中で７０個ほどの共振周波数を0.001%以下の誤差で測定する．温度は５Kから室温の範囲で可変である．また，アンテナ技術を駆使して，無線・無電極状態で圧電体を共振させる技術を紹介する．これにより，高温における計測や，圧電振動子を利用した高精度ヤング率顕微鏡の開発が可能となる．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680592373760
  • NII Article ID
    130006972611
  • DOI
    10.14853/pcersj.2007f.0.804.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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