- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Knowledge Graph Search feature is available on CiNii Labs
- 【Updated on June 30, 2025】Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
Nanostructure control of oxide ceramics layers by EB-PVD
-
- Yamaguchi Norio
- Japan Fine Ceramics Center
-
- Matsumoto Mineaki
- Japan Fine Ceramics Center
-
- Matsubara Hideaki
- Japan Fine Ceramics Center
Bibliographic Information
- Other Title
-
- EB-PVD法による酸化物セラミックス膜のナノ構造制御
Description
ガスタービン用高温部材の遮熱コーティング（TBC）として広く用いられているY2O3安定化ZrO2(YSZ)などのZrO2-Y2O3系セラミックスのような高融点酸化物セラミックスのコーティング法として、電子ビーム物理蒸着(EB-PVD)法が注目されている。EB-PVDで形成されるコーティングの柱状構造は耐熱サイクル特性・耐剥離性に、羽毛状構造は熱遮蔽効果に大きく寄与すると考えられ、各種特性・信頼性の向上にはこれらの構造形成を理解することが重要である。本研究では，EB-PVD法によるZrO2-Y2O3系膜などの酸化物セラミックス膜合成において、蒸着源に対する基材の配置、基材回転などの合成条件が、コーティングの気孔率、配向、柱状・羽毛状構造に与える影響について報告する。
Journal
-
- Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan
-
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan 2005F (0), 182-182, 2005
The Ceramic Society of Japan
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680593416576
-
- NII Article ID
- 130006974311
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed