金属-有機化合物前駆体溶液を用いたBa(Zr,Ti)O3/LaNiO3薄膜の合成と評価

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タイトル別名
  • Synthesis and characterization of Ba(Zr,Ti)O3/LaNiO3 thin films using metal-organic precursor solution

説明

チタン酸バリウム (BaTiO3) 系材料は、優れた誘電特性を有し、Pbなどの有害揮発性元素を含まない材料であることから、積層セラミックコンデンサをはじめとした様々な電子部品に応用されている。また、TiサイトをZrで置換したBa(Zr,Ti)O3 (BZT)は、特性がTi/Zr比により大きく変化し、巨大な誘電率を示すことが知られている。近年、電子デバイスの小型化・高集積化に対する要求が高まっており、機能性材料の薄膜化は必須と考えられる。本研究では、目的化合物の組成制御が容易であり、均質性、形態付与性に優れた金属−有機化合物を用いた化学溶液法により、Ti/Zr比の異なるBZT薄膜、さらに電極材料（LaNiO3）との積層薄膜を作製し、特性の評価を行うことを目的とした。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680593628544
  • NII論文ID
    130006974657
  • DOI
    10.14853/pcersj.2005f.0.277.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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