局在表面プラズモン共鳴を用いた有機・無機ハイブリッド薄膜のナノパターニング

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タイトル別名
  • Plasmon-assisted nano-patterning of organic-inorganic hybrid films

抄録

表面プラズモンを用いたナノリソグラフィによって有機・無機ハイブリッド材料のナノパターンを作製した。光感応性のあるハイブリッド薄膜をゾルゲル法により作製した。電子線リソグラフィにより作製したサブミクロンサイズの開口を持つAlマスクを通してUV光を照射し、未反応部を除去した。周期約1μmと600nmのパターンを作製することができた。これは、Alマスクの開口部で生じる表面プラズモン共鳴による増強電場により材料の重合反応が進み、パターンを形成することができたと考えられる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680596039296
  • NII論文ID
    130006978375
  • DOI
    10.14853/pcersj.2010s.0.1h32.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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