Morphological Effects of Lap Plate Surface on Sapphire Surfaces

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  • サファイア表面に及ぼすラップ定盤表面形状の影響

Abstract

本研究では、修正輪の新しい役割としてラップ定盤の平面度や表面粗さを一定に保つ方法を提案する。平均粒径30µmのダイヤモンド砥粒を用いて、銅‐樹脂複合材料のラップ定盤上で、単結晶サファイアを加工した。アルミナ緻密体修正輪と、SiCを焼結した多孔質体の修正輪を用意した。SiC多孔質体修正輪を用いることで、ラップ定盤の表面は滑らかとなった。また、SiC粒子が小さいほど、滑らかな表面となった。これら表面粗さRaの異なるラップ定盤でサファイアを加工した結果、Raの小さいラップ定盤ほど、Raの小さいサファイア研磨面を得られた。更に、緻密体修正輪を用いたラップ定盤の表面からは圧痕が支配的な研磨面が得られ、多孔質体修正輪では線状痕が支配的な研磨面が得られた。緻密体修正輪を使用した場合、ラップ研磨後のラップ定盤上に網目状の溝が形成されていたことから、溝の効果により研磨中に定盤に埋め込まれる固定砥粒よりも回転砥粒の作用が増し、梨地状の表面を形成したと考えられる。

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680596513792
  • NII Article ID
    130006979127
  • DOI
    10.14853/pcersj.2008s.0.2p151.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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