熱線・輻射制御のためのAl添加ZnO赤外反射膜
書誌事項
- タイトル別名
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- Infrared reflective films based on Al-doped ZnO for control of heat ray and thermal emissivity
説明
熱の有効利用や省エネルギーに向けて、輻射や熱線などの赤外光の制御も重要であり、本研究では多元反応性スパッタリングにより赤外反射性に優れるAl添加ZnO膜を作成した。Znプラズマの発光状態やAlターゲットの電流－電圧曲線の観測により各ターゲット表面における酸化物－金属遷移領域を把握し、その遷移状態を制御してAl添加ZnO膜を成膜することで、自由電子の生成効率を高めることができた。その結果、少ないAl添加量で高いキャリア濃度が得られ、プラズマ波長の低減による近赤外領域の反射率向上だけでなく、散乱因子を抑えてホール移動度を向上できたことにより、赤外領域での吸収量を抑えて高い反射率＝低い放射率が得られ、輻射による伝熱の抑制にも貢献できることを見出した。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 778-778, 2011
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680597104384
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- NII論文ID
- 130006980055
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
