ナノインデンテーション法による薄膜材料の降伏強度の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Determination of yield stress by Nano-indentation method
説明
次世代ULSIの微細化と多層配線技術開発にあったっては、ナノメートルスケールでの力学的定量評価が必須であり、ナノインデンテーション法が広く用いられてきた。しかし、その試験から得られる「硬さ」は機械的特性値でしかないため、降伏強度に代表される塑性変形の定量評価には至っていない。そこで、本研究では球形圧子を用いたナノメートルスケールでの降伏強度の測定手法の開発し、配線用材料であるCuに適用した。
収録刊行物
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- 表面科学講演大会講演要旨集
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表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 187-187, 2004
公益社団法人 日本表面科学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680623585408
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- NII論文ID
- 130004673219
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
