Improvement of thermal behavior of nano-CMM

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  • Nano-CMMの温度特性の向上
  • 測定系の温度分布及び熱膨張の解析

Abstract

本報では，ナノメートルオーダの三次元測定機（以下nano-CMM）の測定系の温度特性の向上を目的とする．ホロゲージ（ミツトヨ製ガラススケール）の温度変化による変位測定実験を行い，その補正を提示することで温度による影響を小さくした．さらなる精度向上のため，新しい測定系の試作機の開発を行い，精度評価実験を行った．結論として，測定系の低膨張化の必要性を述べる．

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  • CRID
    1390282680624556544
  • NII Article ID
    130005026746
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003a.0.455.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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