GaN半導体レーザ共振器端面の形成とレーザ発光特性

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Forming of mirrors of GaN Laser Diode Resonator and laser oscillation characteristics

抄録

青色に発光するGaN半導体レーザ共振器をウェハから切り出すと同時にレーザ発光端面を光が透過，反射する際に損失のない平滑かつ高精度なひずみのない鏡面として形成することを目的に新しい切断技術の研究を行った．結果として端面の表面粗さはRaで1.2nmと非常に滑らかな面を得ることができ，発光強度の急激な立ち上がりを持つ誘導放出によるレーザ発振を確認した．

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680624930560
  • NII論文ID
    130005026657
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003a.0.356.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ