Operation of Telescopic Stick-Slip Actuator in High Vacuum

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  • テレスコピックリニアアクチュエータの高真空中での駆動

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電子顕微鏡における試料導入機構の単純・小型化を目指し,長さが可変であるテレスコピックリニアアクチュエータを開発している.真空容器外部からアクチュエータを加振させることによって真空中での駆動が可能である.真空容器にベーク処理を施し,到達圧力4.6x10-8Paにおけるアクチュエータの駆動についての報告を行う.駆動中,圧力は約3.0x10-7Paまで上昇し,駆動速度は約2.5mm/sを得た.

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  • CRID
    1390282680625106944
  • NII Article ID
    130004656377
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004s.0.552.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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