マイクロピペットプローブを有するSPMを用いた紫外線硬化樹脂微細加工法の開発

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タイトル別名
  • Nanometer scale fabrication of UV curing resin using a scanning micropipette probe microscope

抄録

電子デバイスやマイクロ·ナノマシンは近年益々超精密な微細加工技術が要求されている。我々は新規な微細加工法として溶液試薬が充填可能であるマイクロピペットをプローブに用いた走査型プローブ顕微鏡を開発し、新しい超微細ナノスケール加工法を開発してきている。本報告では光硬化性樹脂を用いた堆積加工法を開発したのでその特性について報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680626184832
  • NII論文ID
    130004657169
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005a.0.793.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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