リング状スリット光を用いた三次元変位測定(第3報)

DOI
  • 清澤 圭太朗
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 臼杵 深
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 侯 冰
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高橋 哲
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高増 潔
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 江並 和宏
    高エネルギー加速器研究機構
  • 平木 雅彦
    高エネルギー加速器研究機構

書誌事項

タイトル別名
  • Three Dimensional Displacement Measurements Using Ring-Slit Ray
  • 精度評価および性能向上

説明

三次元的な位置決めや複雑な三次元メカニズムのキャリブレーションには手先座標の高精度な測定が必要である.この様な測定には従来,複数のスケールやセンサの組み合わせが用いられているが、測定や設置の自由度が低くなり柔軟な測定が難しい。そこで前報までに非接触かつ一本のレーザで三次元変位が同時に測定可能なシステムを提案し、理論解析および基礎実験を行って、システムの有効性を示した。本報では、繰り返し測定精度を評価し改良を加えた上で、測定範囲や測定精度に関してシミュレーションとの整合性を検証した。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680626297728
  • NII論文ID
    130004655878
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004a.0.629.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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