光触媒励起を用いた金属微小構造創成に関する基礎的研究(第1報)-微細周期構造の創成-

DOI
  • 麻生 匡
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 梶原 優介
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高橋 哲
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高増 潔
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Fundamental Study on Metal Micromachining Technique by Photocatalysis (1st Report) -Fabrication of Periodic Fine Profile

抄録

本研究では,サブミクロン以下の分解能を持つ新しい微細加工技術の開発を目指し,光触媒と金属イオンを用いた手法を提案する.第1報として,金属による微細周期構造の創成を行うために,紫外光源の定常波によって光触媒を励起し,硝酸銀水溶液中の銀イオンを還元・析出させる実験を試みた.その結果として創成される微細周期構造について,定常波の間隔との対応を検証し,提案手法の妥当性を確認した.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680626459648
  • NII論文ID
    130004655916
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004a.0.673.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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