非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法
書誌事項
- タイトル別名
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- New calibration technique for Gauge Blocks using no wringing
説明
ゲージブロックの中央寸法偏差および端面形状測定において，リンギングに起因する不確かさや面の歪みを排除し，かつスループットを向上することを目的とし，非リンギングで両端面の干渉画像を同時取得し寸法と形状を一括測定する校正装置を開発した．本手法の実用化には技術上・規格上の問題があるものの，現在までのところ数nm(P-P)という非常に高い繰り返し再現性を得たので，これを報告するとともに将来の展望を述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 111-111, 2003
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680627243648
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- NII論文ID
- 130005026438
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
