高感度角度センサに関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- ワーキングディスタンスがセンサ特性に与える影響
抄録
本研究ではレーザオートコリメーション法に4分割PDを組み合わせた光学系により，超精密ステージに代表されるような運動体の微小角度変位量を一括計測可能な角度センサを提案している．本報では前記光学系においてターゲットが光軸方向に移動した場合における角度検出感度に影響を及ぼす要因に関して考察し，光学シミュレーションならびに実機を用いたワーキングディスタンスに対する角度出力の評価を行ったことを報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 481-482, 2009
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628133632
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- NII論文ID
- 130005029691
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可