Development of a novel double-sided polishing machine with high efficiency using a circular movement(3rd Report)
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- KUSUMI Takayuki
- Akita Prefectural R&D Center
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- SATO Yasuhiro
- Akita Prefectural R&D Center
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- AKAGAMI Yoichi
- Akita Prefectural R&D Center
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- CHIBA Shogo
- Saichi Kogyo Co., LTD.
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- MATSUSHITA Daisaku
- Saichi Kogyo Co., LTD.
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- OKU Shusaku
- Saichi Kogyo Co., LTD.
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- MATSUSHITA Kazuyuki
- Saichi Kogyo Co., LTD.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 旋回運動を適用した新たな高能率両面研磨装置の開発(第3報)
Abstract
両面平面研磨装置の生産能力向上を目的として、新しい構造の研磨装置を提案並びに開発した。この装置は、二つの特徴を有する。一つ目は、回転中心軸を排し、旋回円運動を行なう上下定盤間に配置された試料パレットによって、試料処理数を既存装置の三倍程度搭載可能とする。二つ目は電界砥粒制御技術の導入によって研磨効率向上させる。本報告では、研磨パラメータを変化させた実験を行い、装置の効率の検討結果について述べる。
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009A (0), 311-312, 2009
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628191744
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- NII Article ID
- 130004659085
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed