Ultra precision cutting of hard materials with single crystal diamond tool

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  • 高硬度材料のダイヤモンド切削加工について

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近年、電子情報機器等に使われる光学デバイスの高機能化、高精度化、量産化に伴い、光学レンズ及びその金型に使用される高硬度材料への微細加工、高精度加工が要求されている。<br>通常、高硬度材料に機械加工にてダイヤモンド切削を行なう場合、工具磨耗の影響が大きく、研削加工が適用される場合が多いが、本研究では案内面に空気軸受けを採用した超精密加工機を使用し、工具形状を転写して高精度な加工が可能な単結晶ダイヤモンド切削を試みたので報告する。

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  • CRID
    1390282680628217728
  • NII Article ID
    130004658346
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006a.0.783.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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