Development of a novel double-sided polishing machine with high efficiency using a circular movement (2nd Report)
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- Kusumi Takayuki
- Akita Prefectural R&D Center
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- Sato Yasuhiro
- Akita Prefectural R&D Center
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- Akagami Yoichi
- Akita Prefectural R&D Center
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- Chiba Shogo
- Saichi Kogyo CO., LTD.
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- Matsushita Daisaku
- Saichi Kogyo CO., LTD.
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- Matsushita Kazuyuki
- Saichi Kogyo CO., LTD.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 旋回運動を適用した新たな高能率両面研磨装置の開発(第2報)
- 電界スラリー制御技術導入のための基礎検討
Abstract
両面研磨装置の生産能力向上を目的として全く新しい構造の研磨装置を提案並びに開発した。この装置は旋回運動を行う上下定盤とその間に配置された試料パレットからなる。第1報では、既存装置の3倍以上の試料搭載を可能とする装置構成を紹介し、その基本研磨実験についての報告を行った。本報告では、この研磨装置に、研磨効率向上を狙った「電界スラリー制御技術」を導入するための基礎検討結果について報告する。
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2009S (0), 301-302, 2009
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680628549632
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- NII Article ID
- 130005029592
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed