Fabrication of X-ray Mask using Carbon Microstructure for X-ray Diffraction Grating

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  • カーボンを用いた回折格子用Ｘ線マスクの作製

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我々はX線リソグラフィ技術を用いてX線回折格子など超微細高アスペクト比構造体を作製している．これまでX線マスクのメンブレンには安価で大面積でも形成しやすい樹脂材を使用しているが，X線リソグラフィの繰り返しに伴いX線マスクにたわみが見られるようになった．そこで，本研究ではX線マスクの耐久性を上げるためにカーボンウェハをメンブレンに用いることを提案し，従来よりも耐久性に優れたX線マスクを作製した．

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  • CRID
    1390282680628762624
  • NII Article ID
    130005029645
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2009s.0.397.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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