3軸角度センサに関する研究

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  • 第2報：センサの高感度化

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超精密ステージ等の運動体の姿勢制御並びに運動誤差測定を行うためには3軸（ピッチング，ヨーイング，ローリング）の微小角度変位を一括で測定する必要がある．本研究ではレーザオートコリメーション法に4分割PDを組み合わせた光学系により運動体の3軸周りの微小角度変位量を高感度，高速に一括計測可能な3軸角度センサを提案している．本報では±1次光のみを用いた3軸角度検出方法において光学系を見直し，感度低下の原因であったレンズ収差の問題を改善することで分解能を一桁向上させたことを報告する．

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680628784384
  • NII Article ID
    130005028043
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.661.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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