Nanometer scale liquid deposition by applying voltage using nanopipette probe SPM

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  • 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた電界印加によるナノスケール滴下法の開発

Abstract

近年、電子デバイスやマイクロ・ナノマシンは、益々微細化されており、超微細な加工技術が求められている。その微細加工技術の一つとして走査型プローブ顕微鏡を用いた微細加工法が研究されている。我々は液体を充填することが可能なナノピペットをプローブとして有する走査型プローブ顕微鏡を用いてプローブ先端から溶液を滴下し、表面を超微細に加工する技術を開発している。本報告では液滴を安定に基板上に滴下する方法として、電圧を印加する硬化による液滴滴下法について報告する。有極性のある試料をピペットプローブに充填し、電界をかける事で滴下量を制御した実験結果について述べる。

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  • CRID
    1390282680628835840
  • NII Article ID
    130004658210
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006a.0.537.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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