マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛
書誌事項
- タイトル別名
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- Electrostatic flocking of micro cilium actuators in group
説明
パイプモルフアクチュエータからなるマイクロ繊毛アクチュエータ群の同時大量生産を可能にするために，部分ニッケルめっきをほどこした純チタン細線に水熱合成法により表面にＰＺＴ圧電セラミクス薄膜を形成したマイクロ繊毛アクチュエータの静電植毛はんだ接合を試みた．部分ニッケルめっきの高密度化，はんだのぬれ性の改善およびクリームはんだスポットの作成に基づき，アクチュエータ群の試作実験を行った．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009S (0), 637-638, 2009
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680629342720
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- NII論文ID
- 130005029778
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可