3軸角度センサに関する研究

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タイトル別名
  • Development of a 3-axis angle sensor
  • 測定原理の提案と検証実験

抄録

角度センサは精密ステージなどの動体の精密な姿勢制御のための微小角度変位測定に用いることができる．本研究ではレーザオートコリメーション法をベースとした従来の2軸回り（ピッチング，ヨーイング）の角度変位量の検出に加え，ローリングの角度変位量も一括計測可能な高感度，高速応答性を有し小型化が可能な3軸角度センサの検出原理を提案する．また，原理に基づいてセンサを構成し，実験により提案した手法の有効性を示す．

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  • CRID
    1390282680629617920
  • NII論文ID
    130004658002
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006a.0.163.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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