レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元形状計測に関する研究（第5報）
書誌事項
- タイトル別名
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- 被測定物形状に対するセンシング特性
抄録
近年、マイクロ部品の３次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度３次元座標計測器の開発が求められている。そのような計測器を実現するためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。本報では、プローブに被測定物の形状に依らないセンシング特性を持たせることを目的とする。その検証に適した凹凸構造をもつSiバルク材に対してプローブ球を様々な方向から近づけ、その位置検出特性を確認した。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2010A (0), 523-524, 2010
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680629869056
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- NII論文ID
- 130005030215
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可