Development of laser trapping probe for the nano-CMM(Coordinate Measuring Machine)(6th report)

DOI

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Other Title
  • レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元形状計測に関する研究(第6報)
  • Improvement for the unstable behavior of the probe sphere
  • プローブ球不安定挙動の改善

Abstract

物体の3次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度3次元座標計測器の開発のためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。プローブは捕捉レーザの測定物による遮断、測定面に近づける方向などによって不安定な挙動を示す。本報では、これを捕捉レーザの偏光状態やプローブ形状によって改善する方法を検討した。

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630670848
  • NII Article ID
    130005030869
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011s.0.809.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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