画像処理を用いたスラリーフローの定量評価研究

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タイトル別名
  • Quantitative Evaluation of Slurry Flow Behavior using Digital Image Processing
  • Effect of Lapping/Polishing Process Parameters on Slurry Flow
  • スラリーフローに及ぼす各種研磨条件の影響

抄録

本研究は，精密研磨におけるスラリーフローとそれに及ぼす各種因子の影響解明を目的として，デジタル画像相関法を用いた定量評価手法を提案し，各種検討を行っている．既報では，接触界面における工作物と定盤の相対位置関係がスラリーフローに及ぼす影響，並びに接触界面へのスラリーの流入・排出機構を明らかにした．本報では，工作物材質等の研磨条件がスラリーフローに及ぼす影響に関して検討した結果を述べる．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630760192
  • NII論文ID
    130005031445
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.797.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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