- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Knowledge Graph Search feature is available on CiNii Labs
- 【Updated on June 30, 2025】Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
プラズマ援用研磨法の開発（第８報）
-
- Monna Kohki
- Osaka University
-
- Deng Hui
- Osaka University
-
- Tabata Takaaki
- Osaka University
-
- Endo Katsuyoshi
- Osaka University
-
- Yamamura Kazuya
- Osaka University
Bibliographic Information
- Other Title
-
- サファイア基板へのプラズマ援用研磨適用に関する基礎検討
Description
単結晶サファイア基板はInGaN系青色LEDにおけるGaN成長用の下地基板として用いられる。サファイア基板の研磨にプラズマ援用研磨を適用することで10倍の加工速度が得られた。また、XPSを用いた測定により水蒸気プラズマ照射によってサファイア基板表面の水和が進行されることが示唆された。本報では、高圧直流パルス電源を用いた誘電体バリア放電を新たに適用し、大気開放雰囲気下におけるプラズマ照射が加工特性に与える影響を検証した。
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2013A (0), 221-222, 2013
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680631707392
-
- NII Article ID
- 130004661110
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed