研磨パッド表面における微小面内変形特性の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation for In-Plane Micro-Deformation Distribution Characteristics of Polishing Pad Surface
抄録
本研究では，研磨パッドのコンディショニングに主眼を置いたパッド表面特性の評価を目的に，画像処理技術を応用したパッド表面における微小面内変形特性の定量評価手法を提案している．本報告では，各種パッドにおける収縮特性，並びにコンディショニング時における加工条件がパッド表面の微小面内変形特性に及ぼす影響に関して検討した結果を述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 77-78, 2012
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680632247936
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- NII論文ID
- 130004660918
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可