デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究

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タイトル別名
  • Study on Quantitative Evaluation of Slurry Flow Mechanism using Digital Image Correlation Method

抄録

本研究では精密研磨におけるスラリーフローの解明とそれに及ぼす各種因子の影響検討を目的として，デジタル画像相関法によるスラリーフローの計測結果に基づく定量的評価を行っている．本報告ではラッピング用スラリーフローを対象として検討することを通じて，接触界面におけるスラリーフローに及ぼす工作物と定盤の相対位置，並びに接触界面へのスラリーの流入・排出位置に関して検討した結果を述べる．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680632260864
  • NII論文ID
    130004660084
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011a.0.167.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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