The high precision measurement of the minute shape by the UA3P series

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  • 超高精度形状測定機UA3Pシリーズによる微細形状の高精度計測

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超高精度形状測定機UA3Pシリーズでは、光学レンズ、MEMS等、微細形状の測定・評価が可能である。特にUA3P-Lは、垂直壁面を低測定力、高精度で測定可能であり、金型の内径、外径、真円度、同軸度などの評価が可能なことを特徴としている。

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  • CRID
    1390282680632299392
  • NII Article ID
    130004660478
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011a.0.878.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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