メッシュ工具におけるラッピング特性

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Abstract

研磨において、定盤表面形状が研磨に与える影響を調べるためにラッピング工具に金属メッシュを用いて、サファイアの研磨を行った。メッシュ間隔や定盤表面の凹凸形状を変化させることで、研磨特性がどのように変化するか把握し、理想的な定盤表面形状について考察を行った結果を報告する。

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  • CRID
    1390282680632689280
  • NII Article ID
    130005244351
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2016a.0_533
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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