無酸素銅の超精密切削表面における結晶粒界段差の観察

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抄録

無酸素銅にダイヤモンドバイトを用いた超精密切削を施し，被削材表面に生じた結晶粒界段差に対して，光学顕微鏡，原子間力顕微鏡(AFM)，電子線後方散乱回折法(EBSD)を用いた観察を行った．結晶粒界段差の高さは経時的に線形増大し，その後増加が減少した．結晶粒界段差を形成する二対の結晶の平均粒径，方位差，Σ値を測定し，それらの値と結晶粒界段差の高さの関係を示した．

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  • CRID
    1390282680633123456
  • NII論文ID
    130005244162
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2016a.0_231
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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