両面同時研磨を対象とした上定盤研磨パッドの表面性状測定装置の試作と基礎検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Production Prototyping of Polishing Pad Surface Asperity Pasted Upper Platen for Double Sided Polisher and Its Fundamental Examination
抄録
本研究では両面同時研磨を対象とした上下定盤の研磨パッド表面性状と研磨特性の関係を明らかにすることを目的としている．具体的では，接触画像解析法に基づく研磨パッド表面性状測定を上定盤の研磨パッドでも実現するため，ばね機構を用いた専用装置を試作した．ここでは，試作装置の概要や特徴を述べるとともに，基礎的な検討によって有効性を評価した結果を報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2016A (0), 217-218, 2016
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633136512
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- NII論文ID
- 130005244191
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可