タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発（第４報）
書誌事項
- タイトル別名
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- New Non-Contact Measuring Technique of Small Inside-Diameter Using Tandem Low-Coherence Interferometer (4th report)
- Error Analysis and Measuring Experiment
- 誤差解析と内径測定実験
説明
近年，精密加工技術の進歩とともに，微細な内径を持つ加工物も多く作られるようになってきたが，それらの精密な測定，校正手法はまだ十分に確立しているとは言えない．本研究では，タンデム低コヒーレンス干渉計と45°カット光ファイバを用いて，非接触で簡易に内径を測定する新たな手法を提案する．本報では，第３報までで述べてきた理論をまとめたうえで，実際に内径を測定した結果について述べていく．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 459-460, 2012
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633152128
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- NII論文ID
- 130005031259
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
