モリブデン箔の電解エッチング加工
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- 出口 貴久
- 埼玉県産業技術総合センター 生産技術部
書誌事項
- タイトル別名
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- Electrolytic Etching of Molybdenum Foil
説明
エチレングリコール系電解液を用いてモリブデン箔に微細孔を形成する電解エッチング加工技術の開発を行った．モリブデン板の電解研磨を行い，表面品質が良く，加工速度が速い電解液の電解質成分とその濃度，水の添加効果の検討を行った．その結果，エチレングリコールと水の比率が1:1で硫酸を含む水溶液が適することが分かった．この電解液を用いてモリブデン箔に高品位な加工面を有する微細貫通孔を形成した．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2010S (0), 543-544, 2010
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633266816
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- NII論文ID
- 130004659785
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可