シリコンカーバイドのマルチワイヤ放電加工について
書誌事項
- タイトル別名
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- The Electrical Discharge Machining for Silicon Carbide
抄録
難削材として知られるシリコンカーバイド(SiC) のマルチワイヤ放電スライス技術を適用した結果について述べる.著者らは,□100mmの多結晶SiC に対して10並列放電スライシングに成功した.スライスした薄板の板厚は平均385um,板厚の標準偏差が5.8um であり,スライスした薄板ごとのばらつきは少ない.また,薄板ごとの板厚変動は11.2um,ワイヤ走行方向の反りは10umであった.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2012A (0), 391-392, 2012
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633528448
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- NII論文ID
- 130004660708
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可