計算化学手法によるOHラジカル援用GaN化学機械研磨プロセスの検討
抄録
活性種としてOHラジカルを用いたSiO2砥粒によるGaN基板研磨プロセスについて、計算化学手法を用いた解析を行った。その結果、OHラジカルとGaN基板との化学反応により吸着O原子が生成し、摩擦面でO原子が基板内へと押し込まれることでGa-N結合を解離するメカニズムを明らかにした。さらに、摩擦面において基板表面Ga原子と砥粒表面Si原子間でGa-O-Si結合を生成し、砥粒の移動によりGa原子が削り取られる研磨メカニズムを明らかにした。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2015S (0), 389-390, 2015
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633822464
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- NII論文ID
- 130005486244
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可