X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Proposal for mini-KB mirrors and their fabrication processes

説明

本研究では、X線の極限集光を目的として、2枚の超小型ミラーによるKB型集光システムを提案する。その際、焦点距離とミラー全長を数mmと極端に短くすることで、アラインメント精度の許容値が大幅に緩和する。小型化に伴う高い加工分解能の実現のため、作製方法として微小スポット成膜法を提案し、装置を開発した。本発表では、超小型X線ミラーの特徴とその作製プロセスの現状について報告する。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680634141696
  • NII論文ID
    130006434615
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017a.0_819
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ