X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Proposal for mini-KB mirrors and their fabrication processes
説明
本研究では、X線の極限集光を目的として、2枚の超小型ミラーによるKB型集光システムを提案する。その際、焦点距離とミラー全長を数mmと極端に短くすることで、アラインメント精度の許容値が大幅に緩和する。小型化に伴う高い加工分解能の実現のため、作製方法として微小スポット成膜法を提案し、装置を開発した。本発表では、超小型X線ミラーの特徴とその作製プロセスの現状について報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2017A (0), 819-820, 2017
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680634141696
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- NII論文ID
- 130006434615
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可