数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化特性

DOI
  • 武居 弘泰
    大阪大　工学研究科精密科学・応用物理学専攻
  • 栗生 賢
    大阪大　工学研究科精密科学・応用物理学専攻
  • 松山 智至
    大阪大　工学研究科精密科学・応用物理学専攻
  • 山内 和人
    大阪大　工学研究科精密科学・応用物理学専攻
  • 佐野 泰久
    大阪大　工学研究科精密科学・応用物理学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • The Oxidation Characteristic in Numerically Controlled Atmospheric-Pressure Plasma Sacrificial Oxidation

説明

近年、半導体や酸化物材料の表面処理では、領域ごとに処理時間を高精度に制御し、かつ大面積を短時間で処理することが要求される。そこで我々は数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法を開発した。加工にあたり、酸化レートや加工後の試料表面の情報は非常に重要である。本研究では、大気圧プラズマによる酸化速度、及び加工前後の試料表面の様子、形成した酸化膜の膜質や酸化膜の膜厚と加工量の関係に関して調査した結果を報告する。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680634905984
  • NII論文ID
    130005486949
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015a.0_717
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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