A study on atmospheric-pressure plasma assisted coolant technique

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Other Title
  • 大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発
  • SiCのPCDマイクロミーリングにおけるプラズマ援用クーラントの効果
  • Effect of atmospheric-pressure plasma jet on PCD micro milling characteristics of silicon carbide

Abstract

大気圧低温プラズマジェットを援用することで，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能を最大限に引き出すことを目的としている．SiCに対するPCDミーリング加工時におけるプラズマ援用クーラントの効果について報告する．プラズマ援用クーラントにより，平均表面粗さで1 nm以下という高品位な表面が得られること，さらに，加工距離が延びても得られる面粗さは安定することを確認している．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635180672
  • NII Article ID
    130005486387
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015s.0_715
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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