UV-NILで作製したピラー形状レプリカモールドの転写耐久性向上

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タイトル別名
  • Improvement of transfer durability of pillar shaped replica mold on UV-NIL

抄録

UV照射により微細なパターンを転写する技術に、UV-NIL（ナノインプリントリソグラフィ）がある。UV-NILによりピラー形状のレプリカモールドを作製し、このレプリカモールドを用いてUV-NILを行った。このレプリカモールドがどれくらい持つか繰り返しUV-NILを行うことにより耐久性を評価し，転写物にどれくらい欠損があるかエラー率を測定した．転写樹脂の離型成分を添加することでレプリカモールドの耐久性を向上させ，エラー率を低下させた．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635219712
  • NII論文ID
    130006043559
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_101
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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