ナノインプリントを利用した金属ナノドットアレイの効率的製造法の検討

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当研究室では金属ナノドットを効率的製するために，微細切削加工・微細塑性加工と熱処理による自己組織化を利用した手法を提案している．本報では，Niモールドやプラスチックモールドを利用したナノインプリントにより，基板上の金属薄膜にパターニングし熱自己組織化させることにより規則的に配列した金属ナノドットの作製を試みた．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635319680
  • NII Article ID
    130005479649
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014a.0_887
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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