大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発

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  • PCDボールエンドミルによるSiCの高品位加工への適用

Abstract

本研究では，大気圧プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた．窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し，PCDボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果，Raで1.7nmという高品位な加工面が得られた．本手法を用いることにより，工具表面の付着物の抑止に甚大な効果があることが確認できた．

Journal

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680636284160
  • NII Article ID
    130006043834
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_647
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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