Fabrication of external cavity diode laser system for the measurement of plasma gas temperature
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- Hashimoto Takahiro
- Nagasaki University
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- Shindo Ryouta
- Nagasaki University
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- Hirashima Akinori
- Nagasaki University
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- Shinohara Masanori
- Nagasaki University
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- Matsuda Yosinobu
- Nagasaki University
Bibliographic Information
- Other Title
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- プラズマ気体温度計測用外部共振器型半導体レーザー装置の製作
Abstract
スパッタ成膜においては、基板に入射する各粒子種の粒子束やエネルギー束の把握が非常に重要である。これまで我々は、Al添加ZnO(AZO)透明導電膜の誘導結合プラズマ(ICP)支援スパッタ成膜過程において、吸収分光法を用いた気相粒子密度計測やサーマルプローブを用いた基板入射熱流束計測を実施し、膜特性の変化との関係を調査してきた。しかし、ICP支援スパッタでは動作Arガスの加熱とそれによる成膜過程への影響が無視できないと考えられる。そこで、中性原子の速度分布関数を吸収分光計測する目的で、外部共振器型半導体レーザーを製作したので、その基本動作特性を報告する。
Journal
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- Record of Joint Conference of Electrical and Electronics Engineers in Kyushu
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Record of Joint Conference of Electrical and Electronics Engineers in Kyushu 2011 (0), 597-597, 2011
Committee of Joint Conference of Electrical, Electronics and Information Engineers in Kyushu
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680641386496
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- NII Article ID
- 130005455734
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed