ショットキー型熱電界電子源におけるZr/O/W表面構造
説明
ショットキー型熱電界電子源として広く使われているジルコニア(ZrO2)で被覆したタングステン(W)結晶面の表面構造をRHEED、AES、TOF-SIMSを用いて調べた。温度上昇に伴う表面周期構造の相転移が(100)面では起こるが、(110)面では起こらないことが分かった。また、ZrはOと結合し最表面に結合していること、WOx層がW結晶とZr表面吸着層の間に存在していることが分かった。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 34 (0), 177-, 2014
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680654479360
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- NII論文ID
- 130005481142
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可