マグネトロンスパッタリングにおけるエロージョン形状の材料・圧力依存性 2

DOI
  • 齋藤 悠大
    成蹊大学大学院 理工学研究科 薄膜・表面物性研究室
  • 鎌田 隆平
    成蹊大学大学院 理工学研究科 薄膜・表面物性研究室
  • 中野 武雄
    成蹊大学大学院 理工学研究科 薄膜・表面物性研究室

書誌事項

タイトル別名
  • Pressure and Material Dependability of Target Race Track Profile during Magnetron Sputtering 2

抄録

これまで、Cu, Alについてエロージョントラックと呼ばれるターゲットに生じる同心円状の溝の形状の時間発展を測定したところ、Ar圧力の違いによりトラック幅が時間と共に異なる挙動を示すという結果を得ている。(JVSJ Vol.58 NO.7)この原因についてプラズマの電子密度の時間発展を測定、設置した永久磁石の磁場測定を行い、マグネトロンプラズマが与える影響について考察した結果を発表する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680654518272
  • NII論文ID
    130005489146
  • DOI
    10.14886/sssj2008.35.0_112
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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