マグネトロンスパッタリングにおけるエロージョン形状の材料・圧力依存性 2
書誌事項
- タイトル別名
-
- Pressure and Material Dependability of Target Race Track Profile during Magnetron Sputtering 2
抄録
これまで、Cu, Alについてエロージョントラックと呼ばれるターゲットに生じる同心円状の溝の形状の時間発展を測定したところ、Ar圧力の違いによりトラック幅が時間と共に異なる挙動を示すという結果を得ている。(JVSJ Vol.58 NO.7)この原因についてプラズマの電子密度の時間発展を測定、設置した永久磁石の磁場測定を行い、マグネトロンプラズマが与える影響について考察した結果を発表する。
収録刊行物
-
- 表面科学学術講演会要旨集
-
表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 112-, 2015
公益社団法人 日本表面真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680654518272
-
- NII論文ID
- 130005489146
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可